3D Simulation hoher Ordnung eines DC Magnetrons

PIC-MCC Simulation eines DC Magnetron Sputterprozesses unter Verwendung von Verfahren hoher Ordnung Direct Current (DC) Magnetron Sputtern ist eine effektive Methode um dünne Schichten auf Objekten zu erzeugen, z.B. metallische Schutzschichten an diversen Oberflächen. Das Material, welches zur Beschichtung selbst benötigt wird, muss hierbei von einer anderen Oberfläche abgelöst bzw. Weiterlesen…