3D Simulation hoher Ordnung eines DC Magnetrons

Direct Current (DC) Magnetron Sputtern ist eine effektive Methode um dünne Schichten auf Objekten zu erzeugen, z.B. metallische Schutzschichten an diversen Oberflächen. Das Material, welches zur Beschichtung selbst benötigt wird, muss hierbei von einer anderen Oberfläche abgelöst bzw. gesputtert werden. Im Folgenden werden die Vorzüge anhand einer beispielhaften Magnetron Simulation gezeigt.